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       更廣范圍（UV，DUV，NUV）的紫外光波長(cháng)選擇，出射光強范圍: 8mW/cm2~40mW/cm2

       支持恒定光強或恒定功率模式

       廣泛應用于半導體、微電子、生物器件和納米科技領(lǐng)。

       常見(jiàn)曝光機舉例：MYCRO美國制造的恩科優(yōu)（N&Q）紫外曝光系統，適用于從特殊大小的基片到4尺寸很寬廣范圍材料的紫外或深紫外光曝光。NXQ400-6系統成功地應用于半導體制造，光電電子，平板，射頻微波，衍射光學(xué)，微機電系統，凹凸或覆晶設備和其他要求精細印制和精度對準的應用。